前室壓力傳感器選型常用指南「在線咨詢」
2021-12-11
HLB-016精密型壓差控制器是為正壓送風系統(tǒng)（前室，樓梯間，地下避難所等）差壓控制開發(fā)的一款專用產(chǎn)品，該產(chǎn)品采用美國進口高精度、高穩(wěn)定傳感器，配套ASIS放大電路，可根據(jù)安規(guī)要求控制前室/走道壓差值達到30PA(該值可設(shè)定）時啟動樓頂旁通泄壓閥，進行加壓送風泄壓，當泄壓后差壓小于20PA(該值可設(shè)定）關(guān)閉樓梯旁通泄壓閥，停止泄壓
多晶硅電阻膜的準確阻值
此外，與單晶硅壓阻相比，多晶硅壓阻膜可以在不同的材料襯底上制作，如在介電體（SiO2、Si3N4）上。其制備過程與常規(guī)半導體工藝兼容，且無PN結(jié)隔離問題，因而適合更高工作溫度（t≥200℃）場合使用。在相同工作溫度下，多晶硅壓阻膜與單晶硅壓阻膜相比，可更有效地抑制溫度漂移，有利于長期穩(wěn)定性的實現(xiàn)。多晶硅電阻膜的準確阻值可以通過光刻手段獲得。 綜上所述，多晶硅膜具有較寬的工作溫度范圍（-60~+300℃），可調(diào)的電阻率特性、可調(diào)的溫度系數(shù)、較高的應變靈敏系數(shù)及能達到準確調(diào)整阻值的特點。所以在研制微傳感器和微執(zhí)行器時，利用多晶硅膜這些電學特性，有時比只用單晶硅更有價值。例如，利用機械性能優(yōu)異的單晶硅制作感壓膜片，在其上覆蓋一層介質(zhì)膜SiO2，再在SiO2上淀積一層多晶硅壓阻膜。這種混合結(jié)構(gòu)的微型前室壓力傳感器選型，發(fā)揮了單晶硅和多晶硅材料各自的優(yōu)勢，其工作高溫至少可達200℃，甚至300℃；低溫為-60℃。
